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派克 FRN1000 减压阀 - FR1000系列

FR1000 系列在半导体和其他清洁的天然气输送超高纯度的调节过程, 低到中等流量,这个系列的阀门在阀歧管箱,煤气柜,和其他半导体制造等行业非常广泛的应用。

作为一款用于气体精密控制的通用减压阀,FRN1000减压阀进口压力可达3500psig,Cv 值 0.09 和0.15 可选。

膜片与阀体间采用金属对金属密封
标准膜片材料为Hastelloy®
钝化工艺
可用于氧气应用


FR1000 系列在半导体和其他清洁的天然气输送超高纯度的调节过程, 低到中等流量,这个系列的阀门在阀歧管箱,煤气柜,和其他半导体制造等行业非常广泛的应用。

流量系数: 0.09, 0.15 Cv
最大入口额定压力: 3500 psig
出口额定压力: 出口压力1-30 psig, 2-60 psig, 2-100 psig, 5-150 psig, 1-10 psig
阀座材料: 聚三氟氯乙烯
端口数量: 2
端口类型: 1/4"面密封,3/8"面密封
端口连接: 外螺纹,外螺纹,内螺纹,内螺纹
阀体材料: 316L不锈钢,316L不锈钢双融
选件: 钠,哈氏合金装饰(提升阀)
内部泄漏率: 内部泄漏率为4 x 10 -8 scc/sec He
工作温度: -40°F to 150°F (-40°C to 66°C)
隔膜材料: 哈氏合金的C-22材料
阀芯材料: 316L 不锈钢
过滤器材料: 哈氏合金的C-22材料
表面处理: 表面组糙度10RA(0.25微米),25RA(可选)

体积: 0.49 cm3

FR1000系列调节阀是非束缚隔膜的减压阀, 提供低至中等流量的能力与入口压力为3500 psig.FR1000提供工艺气体导致在一个稳定的流量和下游系统使其成为阀箱、气瓶柜优良的选择压力提供正确的控制,和许多半导体制造中的应用.

标准的哈氏合金C-22®隔膜和综合过滤促进寿命长性能的同时,金属对金属密封膜片以获得高度密封性。
FR1000提供相同的质量、稳定性和性能水平的派克产品的预期,在一个高度竞争的价格点.新生产线补充了我们现有的,保费qr4000和hf1200系列稳压器,和组合,将广泛应用在半导体制造中的应用。

市场:
• 半导体制造
• 天然气公司

特点/好处:
• 金属-金属膜片密封实现泄漏完整性
• 制造超高纯度气体输送应用
• 10英寸RA表面光洁度
• 钝化和电解抛光
• 综合过滤
• 标准hastelloy® 膜片

应用:
• 工具挂钩
• 阀门歧管箱
• 处理气体柜
• “使用点”压力调节

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