在微电子行业，密封材料面临严苛挑战。它们要从容应对等离子、气体、高温、酸碱等不同腐蚀，保持“纤尘不染”的高贵品质，满足行业对密封材料的高洁净度要求。否则，密封材料容易出现腐蚀、溶胀、老化等问题，导致密封失效。

派克汉尼汾旗下的FFKM（全氟橡胶）无惧严苛工况，它们拥有低颗粒物析出、高洁净度、耐化学介质及耐电离辐射等高品质性能，耐受温度可高达320℃，FFKM由优质的氟碳化合物组成，其中超高洁净的FFKM在单独的制造单元生产，保护材料不受尘埃、模具涂料等污染，为材料洁净度保驾护航。

针对微电子行业的具体应用工况，派克汉尼汾旗下不同系列的FFKM各有所长，下面，我们就来解锁其中两款FFKM，看看它们所拥有的神奇密封术吧！

[ 关键词 ] 耐压变    

虽然FFKM耐高温和耐化学腐蚀能力非常优秀，但耐压变性能却相对较差。如果密封件的回弹能力减弱发生形变，其橡胶特性就会受到严重影响，进而导致泄漏。针对这一行业难题，派克汉尼汾推出ULTRA FF156

在实验室，我们将相同硬度的FF156和其他类似耐化学腐蚀的FFKM产品进行耐压变性能对比测试。

数据显示，FF156在耐压变性能方面优于其他两种材料，使用寿命更长。

[ 关键词 ]颗粒物析出，抗腐蚀能力

在使用NF3和O2等离子体进行清洁，沉积SiH4的化学气相沉积（HDP-CVD）工艺中，一家制造商使用行业领先的密封件，还是发生了腐蚀。如下图所示，材料I和II发生严重降解，约20%的密封材质受到侵蚀；而在相同的使用时间内，FF302 O形圈没有受到侵蚀。

事实上，FF302-75的实验表明，它能够耐受具有强腐蚀性的蚀刻和清洁化学成分。因此，越来越多的半导体行业客户开始采用FF302，以降低成本。